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Diss: Thomas Fabula
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Titel:
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Dynamisches Verhalten mikromechanischer Strukturen -
Finite Elemente Simulation zur Entwurfsunterstuetzung
und deren mesztechnische Verifikation
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Datum: 1994-12-02
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Datei: Bemerkung: Status:
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Deck - Titelblatt
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dtf0 - (Inhaltsverzeichnis)
Zusammenfassung
Einleitung
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dtf1 - Grundlagen der Mikromechanik
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dtf2a - Analytische Beschreibung
dtf2b mikromechanischer Strukturen
dtf2c
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dtf3 - Methode der Finiten Elemente
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dtf4a1 - Resonante Mikrostrukturen
dtf4a2
dtf4b
dtf4c
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dtf5a - Piezoelektrische Duennschichtstrukturen
dtf5b1
dtf5b2
dtf5c
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dtf6a - Entwurfsunterstuetzung bei der
dtf6b Sensorentwicklung
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dtf7 - Schluszbetrachtung
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anhang - Anhang: Experimenteller Meszaufbau
(Abbildungsverzeichnis)
(Tabellenverzeichnis)
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lit - (Literaturverzeichnis)
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dank - Danksagung
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ll - Lebenslauf
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